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日本MEG對齊單元

  • 產品型號:X9113A-C
  • 更新時間:2025-06-09

簡要描述:日本MEG對齊單元X9113A-C用于光學或機械系統(tǒng)的精密對齊(Alignment),常見于半導體設備、激光加工系統(tǒng)、高精度檢測儀器等需要微米級定位的場景。
精密儀器制造商,專注于光學、電子測量設備。
緊湊節(jié)省空間,高速運行,備有帶馬達型號、外部驅動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。

產品詳情

深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9113A-C 產品特點如下:

日本MEG對齊單元X9113A-C用于光學或機械系統(tǒng)的精密對齊(Alignment),常見于半導體設備、激光加工系統(tǒng)、高精度檢測儀器等需要微米級定位的場景。

精密儀器制造商,專注于光學、電子測量設備。

小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能,緊湊節(jié)省空間,高速運行,備有帶馬達型號、外部驅動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等

備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅動方式等多種種類。

小型類型的基本機構原封不動,實體從上側用M3螺絲能安裝的模型,小型A型還備有可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達型號。

這是一種小型類型,有多年的經(jīng)驗,本體安裝,利用本體背面的M2抽頭,備有帶M2螺絲5相步進馬達和外部驅動的連接類型。

小型A型的基本機構是原封不動地從本體側面拿出鰭片的模型,主體上面沒有角孔,小型AP類型還準備了可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達型號,主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊。

核心功能

高精度調整:通過精密機械結構或壓電驅動實現(xiàn)亞微米級(可能達0.1μm以下)的位置校準。

多軸控制:可能支持X/Y/Z三軸或傾斜(θx/θy)方向的獨立調整。

集成傳感器:部分型號內置位移傳感器或光學編碼器,實時反饋位置信息。

兼容性:適配多種光學元件(透鏡、反射鏡)或機械組件。

應用領域

半導體制造:光刻機組件對齊。

激光加工:光束路徑校準。

科研儀器:干涉儀、顯微鏡的樣品臺定位。

產品特點

剛性設計:鋁合金或不銹鋼材質,確保穩(wěn)定性。

防震設計:減少環(huán)境振動影響。

模塊化:可與其他MEG單元組合使用(如旋轉臺X系列)

技術參數(shù)

項目參數(shù)
調整范圍±5mm(線性軸)
分辨率0.1μm
重復精度±0.2μm
負載能力5kg(需確認)
驅動方式手動微調或電動驅動
接口RS-232/USB

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